真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只要在现场进行简单的连接电源和管道，就可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由PLC控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
　　1.在被抽器件或工作中房间内得到需要的真空泵和工作中真空度。
　　真空度就是指器件在无漏放气时所做到的真空度，工作中真空度就是指在器件开展真空泵解决时能够保持的真空度。真空泵解决时通常要释放很多汽体，这时候的工作中真空度将明显地小于真空度。
　　2.为获得某一工作中真空度需要的时间
　　这时间取决于真空系统抽速的尺寸。提升抽速可减少这一时间。大的个人工作室显而易见要大的抽速。有时候个人工作室尽管并不大，但因为漏放气比较严重，则真空系统也要大的抽速，不然很多的漏放气将大幅度降低真空度，使系统软件没法工作中。
　　3.在被抽器件或工作中房间内有适合的残气成份
　　单纯性提升和保障真空度及工作中真空度是不够的，还解决残留汽体成分有规定。比如真空泵拍摄器件，规定器件内的残留汽体的氧气含量应不高于10-2Pa耐髙压的真空开关管中，应不带有氮氧化合物分子结构这些。真空系统的残气成分，如系统软件中无其他气动阀门，则关键在于泵的特点。