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介绍真空系统的主泵类型有哪几种

  真空系统设计的关键问题是选择真空抽气机组的主泵:
  1、根据真空室所需要建立的压力确定主泵的类型。一般主泵压力的选取要比真空室的压力低半个到一个数量级。
  2、根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。应正确地选择主泵的工作点,在其工作压力范围内,应能排除真空室内工艺过程中产生的气体量。因此,真空室内的工作压力要在主泵的抽速压力范围之内。
  3、根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。真空室体积大小对系统抽到真空的时间有影响。当抽气时间要求时,若真空室体积越大,则主泵抽速也越大。
  4、正确地组合真空泵,由于真空泵有选择性地抽气,因而有时选用一种泵不符合抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能符合抽气要求。
  5、若真空系统严格要求无油时,则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格,则可选择有油泵,然后加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
  6、选择真空泵时,应该知道被抽气体成分,针对被抽气体成分选择相应的泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等,则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安装辅助设备。
  7、根据整套真空系统的初次投资和日常维护费用等经济指标选择主泵。
2021/12/08 15:46:34 78 次